硅粉（Microsilica或SilicaFume），也叫微硅粉，學名“硅灰”，又叫硅灰，是工業電爐在高溫熔煉工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。

盡管應用純水泥可以制成抗壓強度高達100MPa的HPC，但當使用硅粉時將容易得多。而對于制備強度超過100MPa的混凝土，硅粉的使用幾乎不可缺少。硅粉在混凝土中同時起填充材料和火山灰材料使用。使用硅粉后，大大降低了水化漿體中的孔隙尺寸，改善了孔隙尺寸分布，于是使強度提高，滲透性降低。例如，研究結果表明（CEB2FIP1988），為獲得70MPa的混凝土強度，應用純水泥需要水膠比0.35，而當加8%的硅粉時，水膠比可以為0.50。由于硅粉顆粒非常細，它們可以在很早的幾個小時內發生火山灰反應。根據Carette和Malhotra1992）的報導，硅粉對混凝土強度的貢獻主要在28d之前。所以，就長期強度增長方面，一般認為硅粉混凝土不如純水泥混凝土或粉煤灰混凝土。Almad（1994）引用的硅粉對NSC強度發展的試驗結果表明，硅粉摻量增加使得早期相對強度發展降低，Sandvik1992在65MPa的混凝土中也發現了這種現象。

然而，盡管在相同的水膠比下硅粉混凝土的早期相對強度發展比純水泥混凝土的慢，由于加入硅粉使得強度大大提高，硅粉混凝土的相對強度則比純水泥混凝土的高。另一方面，經驗表明，HPC的早期強度發展比NSC的快，雖然HPC的凝結時間可能稍有推遲，其凝結之后的水化作用會由于效率高減水劑和硅粉大大加快。其結果通常是凝結之后強度發展非常快。

對于某些空氣中干燥或養護的很低水膠比的硅粉混凝土試件，有抗壓強度倒縮的報導（DeLarrard和Aiticin1993）。這種強度降低通常發生在90d齡期之后，一般認為是由內部自干燥及干燥裂縫引起的。然而，許多其他研究人員的試驗室及現場研究表明，HPC的后期強度沒有降低。例如，從6種不同的HPC中取得的3個月至3年齡期的所有鉆芯試樣試驗結果表明，其強度在不斷增長。當然，與NSC比較，HPC的長期強度增長潛力較小。

硅塊原料制取硅粉的方法很多，其中效果較好，應用較多的方法就是使用雷蒙磨粉機進行加工，使用雷蒙磨粉機加工硅粉所需要的設備有顎式破碎機、斗式提升機、電磁振動給料機、儲料斗、雷蒙磨粉機、鼓風機、分析機電動機、除塵器和收集器。

硅塊先經過顎式破碎機破碎，在由斗式提升機將破碎過得硅塊提升到儲料斗，儲料倉物料再經電磁振動給料機傳送至雷蒙磨粉機，雷蒙磨粉機把物料磨碎后（分析機是用來調節磨粉機磨料的細度，以及轉動速度）有鼓風機把物料送至收集器，其中經過除塵器（除去或降低煙氣中飛灰含量的設備）收集器出來后就是成品。